[20a-P01-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[20a-P01-6] 表面粗さの異なるSKD基材上のa-C:H膜のラマンマッピング評価

〇蓮池 紀幸¹、阿部 涼介²、木下 創²、福村 秀夫²、木曽田 賢治³ (1.京都工芸繊維大学、2.住友重機械工業(株)、3.和歌山大学)

キーワード：

非晶質カーボン膜,ラマンマッピング