[20p-A202-1~11] 界面ナノ電子化学：深化する半導体ウェットプロセス

13:30 〜 14:00

[20p-A202-2] 半導体枚葉式洗浄装置の開発について

〇菅野 至¹ (1.東京エレクトロン九州)

キーワード：

洗浄,枚葉式,半導体

半導体製造における枚葉洗浄装置の利点や課題、今後の展望について述べる。