[20p-A202-1~11] 界面ナノ電子化学：深化する半導体ウェットプロセス

15:45 〜 16:15

[20p-A202-8] バッチ式ウエハ洗浄装置内水流解析と設計の視点

〇羽深 等¹ (1.横国大院理工)

キーワード：

洗浄,水流,設計

本講演では、半導体ウエハ洗浄に関わる現象を観察・解析し、設計に結びつける視点と手法について、バッチ式洗浄装置を例として議論する。本研究では、バッチ式洗浄の欠点の原因を仮定し、流れの可視化観察と数値流体計算を用いた解析に基づいて流れの設計を試みた。