講演情報
[20p-A202-9]PVAブラシの変形に伴う液体流出及び流入挙動の観察
〇鈴木 翔大1、水嶋 祐基1、濱田 聡美2、小篠 諒太2、真田 俊之1 (1.静大工、2.荏原製作所)
キーワード：
CMP後洗浄,PVAブラシ
本研究では，post-CMP洗浄に用いられるPVAブラシ洗浄の効率化に向け，PVAブラシが表面に接触し，変形した際の液体輸送に着目した．実験では，実際の洗浄においてみられるPVAブラシの変形を模擬し，PVAブラシ内の流体を蛍光により可視化することで，様々なブラシ変形に伴う液体の流出及び流入挙動の観察した．さらにPVAブラシの体積変化と液体流出方向，移動液体の影響範囲について検討した．