[20p-A301-1~18] 13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス

18:30 〜 18:45

[20p-A301-18] SOI上InAs ナノワイヤ選択成長と縦型トランジスタの作製

〇竹田 有輝¹、蒲生 浩憲¹、本久 順一¹、冨岡 克広¹ (1.北海道大)

キーワード：

ナノワイヤ,トランジスタ,MOVPE