[20p-A302-1~15] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

13:45 〜 14:00

[20p-A302-4] (-102)面β-Ga₂O₃基板上のホモエピタキシャル成長

大島 祐一¹、〇大島 孝仁¹ (1.NIMS)

キーワード：

酸化ガリウム,ハライド気相成長