2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
詳細検索

講演情報

14:00 〜 14:15

[20p-A302-5](−102)面β-Ga2O3基板に対する選択成長と選択エッチング

〇大島 孝仁1、大島 祐一1 (1.NIMS)
PDFダウンロードPDFダウンロード

キーワード：

酸化ガリウム,選択成長,ガスエッチング

セッション詳細へ戻る