講演情報
[20p-A303-7]半導体プロセスのグリーントランスフォーメーション
〇堀 勝1 (1.名大低温プラズマ)
キーワード：
プラズマ
半導体プラズマプロセスの開発において，最適な１条件を見出すために，数千回の試行が行われており，投入されるエネルギー，資源，労力の浪費は膨大である。そのために，AIの導入によって、プラズマ現象に関するビッグデータを集積し、プラズマサイエンスに基づいたプロセス開発を推進できる可能性が見えてきた。これによって，半導体プロセスのグリーン化に向けたトランスフォーメーションを起こすことが可能になる。