[20p-A309-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

16:30 〜 16:45

[20p-A309-13] 強誘電体薄膜の圧電特性向上に向けた下部電極層(Ba,Sr)RuO₃の格子定数制御

〇(M1C)中條 凪¹、川出 航平¹、吉野 正人¹、長崎 正雅¹、山田 智明^1,2 (1.名大工、2.東工大MDX)

キーワード：

薄膜,強誘電体,電極