[20p-A309-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

15:00 〜 15:15奨励賞エントリー

[20p-A309-8] 強誘電体薄膜のドメイン構造制御に向けたSr(Zr,Ti)O₃バッファ層の検討

〇(DC)石濱 圭佑¹、岡本 一輝¹、小寺 正徳^2,3、森川 友秀¹、清水 荘雄^1,4、舟窪 浩¹ (1.東工大物院工、2.東工大元素、3.産総研、4.物・材機構)

キーワード：

強誘電体,ドメイン構造,薄膜

強誘電体薄膜においては、強誘電体、圧電体、誘電体の特性においてドメイン構造が重要な役割を果たし、下部基材から誘起される歪みによってドメイン構造とその特性を制御することができることが知られている。本研究では新しいバッファ層としてSr(Zr,Ti)O₃固溶体(SZTO)を用いるアプローチに着目した。種々の組成を有するSZTOバッファ層を (100)LSAT基板上に作製し、結晶構造の膜厚依存性及びPZT膜のバッファ層としてドメイン構造に与える影響を考察する。