講演情報

[20p-B101-15]量子殻GaN系LDのトンネル接合層の炉内その場活性化アニール条件の最適化

〇高橋 美月1、山中 優輝1、伊井 詩織1、島 綾香1、稲葉 颯磨1、久保田 光星1、服部 祐汰1、竹内 哲也1、岩谷 素顕1、上山 智1 (1.名城大理工)

キーワード:

ナノワイヤ