[20p-B101-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

13:45 〜 14:00

[20p-B101-2] マグネトロンスパッタリング成長におけるc-BN相の成長機構

〇平間 一行¹、熊倉 一英¹、谷保 芳孝¹ (1.NTT物性研)

キーワード：

立方晶窒化ホウ素,マグネトロンスパッタリング,ダイヤモンド