[20p-B201-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

14:15 〜 14:30奨励賞エントリー

[20p-B201-4] ハイドロゲルFHEデバイスのためのRDL-first Multichip-to-Wafer集積技術

〇星 匡朗¹、西口 大智²、木野 久志³、田中 徹^1,3、福島 誉史^1,3 (1.東北大院工、2.東北大工、3.東北大院医工)

キーワード：

ハイドロゲル