[20p-C402-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

16:30 〜 16:45

[20p-C402-12] 酸素含有雰囲気下での層状窒化炭素膜の作製とその電気的特性への効果

〇樋口 航太¹、橘 昌希¹、浦上 法之^1,2、橋本 佳男^1,2 (1.信州大工、2.信州大　先鋭材料研)

キーワード：

半導体,窒化炭素