[20p-C402-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

17:00 〜 17:15

[20p-C402-14] リン添加層状窒化炭素膜の化学気相成長

〇栗本 菜津子¹、浦上 法之^1,2、橋本 佳男^1,2 (1.信州大工、2.信州大　先鋭材料研)

キーワード：

層状窒化炭素,リン添加,結晶評価