講演情報

[20p-C402-16]光学定数に基づいて分類した非晶質炭素膜の電気絶縁性

〇(M1)一條 瑛巴1、平塚 傑工2、平栗 健二1 (1.電機大工、2.ナノテック)

キーワード:

DLC,電気絶縁性,耐酸性