講演情報
[20p-C402-17]コイル陽極フィルタードアークを用いた水素フリーDLC膜の高速形成
〇渡辺 聖也1、鬼頭 純平1、坂東 隆宏1、針谷 達1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー（株）)
キーワード：
DLC,真空アーク蒸着,コイル陽極
直流アーク電流を利用して磁界を発生させるコイル陽極を用いて実験を行った。本装置を用いてコイル陽極磁界，および外周電磁石磁界の条件を変えDLC膜を作製した。作製した膜は，膜厚をカロテスト，表面分析にはSEMを用いた。実験結果から，コイル陽極，外周電磁石を用いることで成膜速度が向上することが分かった。同時に，膜厚に対するドロップレット数も相対的に減少することが分かった。