[20p-C402-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

14:00 〜 14:15

[20p-C402-3] X線光電子分光による非結晶カーボン膜内部の化学結合状態の評価

〇村岡 祐治¹、榎本 奨²、岳 強³、岡﨑 宏之⁴、脇田 高徳¹、横谷 尚睦¹ (1.岡山大基礎研、2.岡山大院環境生命自然科学、3.岡山大院自然科学、4.量研)

キーワード：

非結晶カーボン膜,化学結合状態,X線光電子分光

非結晶カーボン膜の内部における化学結合状態を、スパッタを併用したX線光電子分光により調べた結果を報告する。