講演情報
[20p-C402-4]HF-HiPIMS法を用いたDLC膜のラマンスペクトルにおけるフィッティングバンド数の検討
〇(D)福江 紘幸1、中谷 達行1、岡野 忠之2、黒岩 雅英2、國次 真輔3、鷹林 将4、太田 裕己5、米澤 健5,1 (1.岡山理大、2.東京電子、3.岡山工技セ、4.有明高専、5.ケニックス)
キーワード：
ダイヤモンド様炭素膜,ラマン分光法,大電力パルススパッタ
本研究グループでは，高機能薄膜を目的に新しいHiPIMS法として，HF-HiPIMS電源の開発を行っている．本研究では，HF-HiPIMS法を用いたDLC膜のラマンスペクトルにおけるフィッティングバンド数を検討したので報告する．2ピーク分離解析のID/IG強度比と5ピーク分離解析のNバンド面積比をsp3比と比較した．その結果，Nバンド面積比との相関が強く，5ピーク分離解析の優位性を確認できた．