[20p-C402-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

14:45 〜 15:00奨励賞エントリー

[20p-C402-6] 単色化軟X線照射によるDLC膜の体積変化

〇(M2)三嶋 友博¹、森田 恭司¹、中西 康次¹、赤坂 大樹²、鈴木 常生³、神田 一浩¹ (1.兵県大工　高度研、2.東工大工、3.長岡技科大)

キーワード：

ダイアモンドライクカーボン