講演情報
[20p-C402-7]昇温による高水素化DLC膜の自由体積の変化
〇(M1)丹羽 大輔1、三嶋 友博1、中西 康次1、福室 直樹2、木野村 淳3、神田 一浩1 (1.兵県大高度研、2.兵県大工、3.京大複合研)
キーワード：
高水素化DLC膜,昇温脱離
H-DLC膜は、真空下で低摩擦係数という特性を持ち、固体潤滑剤として人工衛星や真空槽内などでの利用が期待されている。今回の研究では、H-DLC膜をいくつかの温度まで昇温し、自由体積の変化から熱分解過程について議論した。その結果、200℃昇温の試料は未昇温の試料に比べ陽電子消滅寿命とSパラメータが増加し、360℃から400℃の間では共に減少、400℃から450℃の間では共に増加していることが分かった。