[20p-C402-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

15:15 〜 15:30

[20p-C402-8] 電子線堆積カーボン探針のヤング率とカーボン結合状態の関係性の評価

〇奥西 昴¹、宮澤 佳甫^1,2、古庄 公寿²、寺前 奎吾¹、福間 剛士^1,2 (1.金大院、2.金大WPI-NanoLSI)

キーワード：

原子間力顕微鏡,アモルファスカーボン,ダイヤモンドライクカーボン