講演情報
[21a-A302-1]表面波プラズマにおける三次元再構成とその精度評価
〇新元 美晴1、三瓶 明希夫1、比村 治彦1、伊藤 洋一1、稲垣 秦一郎1 (1.京都工繊大)
キーワード：
プラズマプロセス,画像再構成,表面波プラズマ
本研究では表面波プラズマにおける三次元再構成法の手法と、その精度の測定を行なっている。プラズマを、異なる焦点距離を持つレンズを複数個備えたレンズアレイを通して撮影を行い、その画像からフーリエベッセル法を用いてプラズマの三次元分布を算出する。今回はレンズアレイの種類や、三次元分布とカメラ位置、視野の関係から三次元再構成の精度評価を行い、画像再構成における条件の最適化を行なった結果について発表する。