[21a-A302-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

11:15 〜 11:30奨励賞エントリー

[21a-A302-10] 大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜における希ガスの効果

〇(M2)武田 恵太¹、針谷 達²、小田 昭紀³、上坂 裕之⁴、太田 貴之¹ (1.名城大理工、2.豊橋技科大、3.千葉工大、4.岐阜大工)

キーワード：

ダイヤモンドライクカーボン,大電力パルスマグネトロンスパッタリング,エネルギー分解質量分析法