[21a-A302-1~12] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

11:30 〜 11:45奨励賞エントリー

[21a-A302-11] ユニポーラダブルパルス大電力パルスマグネトロンスパッタリングを用いたダイヤモンドライクカーボン成膜

〇(M2)國枝 滉¹、針谷 達²、小田 昭紀³、上坂 裕之⁴、太田 貴之¹ (1.名城大理工、2.豊橋技科大、3.千葉工大、4.岐阜大工)

キーワード：

大電力パルスマグネトロンスパッタリング,ダイヤモンドライクカーボン,エネルギー分解質量分析法