講演情報
[21a-A302-4]反応性負イオンビームの引き出し装置の開発及びフラックス計測
〇丹波 天晴1、鞆津 匠人1、西尾 昴1、堀江 凌矢1、比村 治彦1、三瓶 明希夫1、河内 裕一1、神吉 隆司2 (1.京都工繊大、2.海上保安大)
キーワード：
プラズマ,プラズマプロセス,リモートプラズマ
本研究は、特定のイオンのみを選別し、ビームとして引き出してウェハに照射する装置の開発を試みた。特定のイオンのみを選別する選別器はシミュレーションでは正常に動作することは確認している。ファラデーカップにてビームのフラックスを測定した。シミュレーション結果と測定結果の比較を報告する。