講演情報
[21a-A302-5]3 MHzで駆動する容量結合Arプラズマの2次元PIC-MCCシミュレーション
〇伝宝 一樹1 (1.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ)
キーワード：
容量結合プラズマ,シミュレーション,PIC-MCC
PECVDやPEALDプロセスで用いられるTorrオーダー圧力の容量結合Arプラズマに対し，プラズマ密度が極小となる3 MHzでの2次元放電構造をPIC-MCC法により調べた．上下電極間内ではシース電界が深く侵入し，電子密度とプラズマバルクが上下に大きく振動．結果，低プラズマ密度となる．一方，電極外周ではリング状の不動バルクを形成．荷電粒子の壁面損失の抑制により，プラズマ密度が相対的に大となる．