講演情報
[21a-A302-6]熱電子供給型プラズマ支援成膜法による窒化ホウ素膜への金属元素導入制御
〇朝本 雄也1,5、野間 正男2、長谷川 繁彦3、山下 満4、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工、2.神港精機、3.阪大産研、4.兵庫県立工技センター、5.学振特別研究員DC)
キーワード：
窒化ホウ素,熱フィラメント,ドーピング
我々は，熱フィラメントによる熱電子供給機構を活用した反応性プラズマ支援成膜（RePAC）法を提案してきた．RePAC法により，フィラメント材構成元素を導入した窒化ホウ素（BN）膜を作製可能である．BN膜性能設計上，膜中のフィラメント構成元素割合制御は非常に重要である．本研究では，タングステン（W）熱陰極放電を用いた成膜中のW導入量制御手法を提示する．また，BN膜へのW導入効果を議論する．