講演情報

[21a-A304-11]MOS界面の単一欠陥チャージポンピングによって可能となった両性準位における電子捕獲素過程の直接観測 (9) -捕獲電子の再結合過程(Ⅱ)-

〇土屋 敏章1、堀 匡寛1、小野 行徳1 (1.静大電研)

キーワード:

単一界面両性欠陥,チャージポンピング,電子捕獲放出素過程

本講演では両性準位を有する単一MOS界面欠陥において,Acceptorlike準位とDonorlike準位の両準位に捕獲された伝導帯電子の価電子帯正孔との連続的な再結合素過程を観測し,各再結合時定数を導出する.