[21a-A304-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

9:30 〜 9:45

[21a-A304-3] 三次元積層型シリコン量子ドットの特性の個別制御

〇(D)金 駿午¹、水谷 朋子¹、更屋 拓哉¹、岡 博史²、森 貴洋²、小林 正治^1,3、平本 俊郎¹ (1.東大生研、2.産総研、3.東大 d.lab)

キーワード：

量子ドット,単電子トランジスタ