講演情報
[21a-A304-8]極低温におけるpn接合ダイオードの特性
〇(M1)吉永 啓人1、宮尾 知寿1、田中 貴久2、内田 建1 (1.東大工、2.慶大理工)
キーワード：
低温,pn接合,ダイオード
量子コンピュータの集積化に必要な極低温動作CMOSに向け，先行研究と比較して高不純物濃度の基板上のpn接合ダイオードの特性を極低温で評価し，電流決定機構について考察した．サイズの異なる複数のデバイスを用いた測定およびTCADシミュレーションの結果から，極低温において電流の流れる領域について考察した．また電流電圧関係の傾きが変化する点について，ウェル抵抗の電界依存性が関係している可能性を検証した．