[21a-B101-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

9:45 〜 10:00

[21a-B101-4] スパッタ法により作製したAlN/Al_0.6Ga_0.4N/AlN HEMTの耐圧特性評価

〇(D)前田 亮太¹、小坂 鷹生¹、上野 耕平¹、藤岡 洋¹ (1.東大生研)

キーワード：

AlGaN,HEMT,スパッタリング