2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
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講演情報

10:00 〜 10:15

[21a-B101-5]AlN/AlGaNマルチチャネル構造ショットキーバリアダイオード

〇小坂 鷹生1、前田 亮太1、上野 耕平1、藤岡 洋1 (1.東大生研)
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キーワード：

窒化アルミニウム,AlGaN,スパッタリング

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