講演情報
[21a-P02-10]ペロブスカイト型圧電単結晶膜を用いた超小型センサの開発とその応用
〇水沼 拓也1、入山 瑞希2、湊 丈俊3、黒澤 実4、船窪 浩4、池上 和志1、石河 睦生2 (1.桐蔭横浜大院工、2.桐蔭横浜大医用工、3.分子科学研、4.東京工業大)
キーワード：
圧電,水熱合成法,超音波
近年、社会需要から触覚センサが注目されており、また圧電型のものは小型化や耐久性、低電力駆動の観点から研究報告が活発である。しかし超小型かつ高機能な触覚用センサ＆アクチュエータの報告例は未だ少ない。そこで本研究グループではペロブスカイト型圧電単結晶膜を用いて触覚センサ用の圧電マイクロ超音波トランスデューサの開発を行い、触覚センサの小型化と高機能化を実現に向けて基礎的な評価を行い報告する。