[21a-P02-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[21a-P02-2] デジタル処理DCスパッタによるHf_0.5Zr_0.5O₂強誘電体薄膜の非加熱成長

〇山下 大貴¹、藤谷 諭史¹、高村 宏樹¹、一色 秀夫¹ (1.電通大)

キーワード：

強誘電体,光変調器