[21a-P02-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[21a-P02-6] シャドウマスク法にて作製したNb/KNaNbO₃/Nb三層構造の電気的特性

〇中島 渉¹、田中 駿¹、篁 耕司¹、平 智幸¹ (1.旭川高専)

キーワード：

圧電体薄膜

ニオブ酸カリウムナトリウム（KNN）において薄膜組成の変化の影響が誘電率に現れることが報告されていが報告されている。その影響を調べるための金属/KNN/金属3層構造を作製するにあたり下部電極とのコンタクトをフォトリソグラフィーを用いずに得る方法を検討した。KNNとサイズの異なる電極を上部に堆積することによって、一桁電流の値を変化させられることが分かった。完全な絶縁にはなっていないため、KNN薄膜の不良が示唆される。