講演情報
[21a-P02-9]ペロブスカイト型圧電結晶膜の水熱エピタキシャル合成と超音波センサへの応用に向けた検討
〇吉田 馨1、湊 丈俊3、三嶋 竜弥4、黒澤 実5、船窪 浩5、池上 和志1、石河 睦生2 (1.桐蔭横浜大院工、2.桐蔭横浜大医用工、3.分子科学研、4.杏林大、5.東京工業大)
キーワード：
圧電,超音波,水熱合成法
水熱合成法によりSrTiO3の基板上に配向の異なるエピタキシャルKNbO3圧電性結晶膜を製膜し基板から剥離させ、KNbO3圧電結晶の単結晶自立膜を得た。複数の条件で得られた圧電結晶膜に関して、レーザー顕微鏡による観察像、圧電応答顕微鏡（PFM）およびレーザードップラー振動計（LDV）による測定を行い、ハイドロフォン用の圧電結晶膜に関して比較検討を行ったので報告する。