講演情報
[21a-P03-13]SiO層を用いた樹脂基板上BPFのクラック防止
〇室 幸市1、望月 章2、金澤 弥3 (1.帝京大理工、2.大正光学、3.三和研磨工業)
キーワード：
一酸化ケイ素,光学薄膜,クラック防止
窓やレンズの基材は、ガラスに替わり樹脂が使用されることが多くなってきている。光スペクトルを制御する光学薄膜は金属酸化物から構成される。樹脂基板上に光学薄膜を形成する場合、線膨張係数が2桁も違う為、加熱時にクラックや剥離が発生する問題がある。そこで、亜酸化物である一酸化ケイ素（SiO）をバッファー層として用いることにより、樹脂基板上に成膜した帯域透過フィルター膜の耐熱特性（クラック防止）を向上させた。