[21a-P03-1~16] 6.4 薄膜新材料

[21a-P03-15] フレキシブルプリント基板上に作製したPb(Zr_0.52, Ti_0.48)O₃薄膜の化学組成が電気特性に及ぼす影響

〇西川 直希¹、廣崎 紀光²、西川 博昭³ (1.近畿大院生物理工、2.太洋工業 (株)研究開発部、3.近畿大生物理工)

キーワード：

チタン酸ジルコン酸鉛,エピタキシャル薄膜,転写プロセス