講演情報
[21a-P03-2]活性水素の有効利用によるMgH2エピタキシャル薄膜の合成
〇(M1)下萬 祐暉1、宗房 幸太1、原田 尚之2、大口 裕之1 (1.芝浦工大理工、2.物材研)
キーワード：
水素化物,活性水素,赤外レーザー蒸着法
1族・2族金属水素化物MHxは、機能性材料としての高い潜在性を有するため、MHxの高品質薄膜化は新規なデバイス開発につながり得る。我々はこれまで、赤外レーザー蒸着法によるMHx高品質薄膜合成に取り組み、最近のLiHの研究で、完全なエピタキシャル薄膜の合成には、活性水素の利用が鍵となることを実証した。本研究では、LiHよりも合成難易度の高いMgH2のエピタキシャル薄膜に挑戦し、成膜時の活性水素量の膜質への影響を調査した。