講演情報
[21a-P03-4]反射率測定を用いた光MOD法によるBi置換希土類鉄ガーネットの結晶化プロセスの解析
〇(M1C)中澤 俊1、磯村 奎太郎1、チャフィ ファティマ ザーハラ1、西川 雅美1、河原 正美2、石橋 隆幸1 (1.長岡技大、2.高純度化学)
キーワード：
磁性薄膜,光MOD法
Bi置換希土類鉄ガーネットの成膜には高温での熱処理プロセスを必要とするため、熱負荷に弱い基材を用いることはできない。そこで我々は、基材への熱負荷を抑えて薄膜結晶を形成することのできる光MOD法を用いたBi置換希土類鉄ガーネットの成膜法の開発を行っている。今回は、光MOD法中のガーネット結晶化プロセスの解析を行うため、レーザー照射中の試料の反射率の変化を測定した。