[21a-P06-1~17] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[21a-P06-2] GaNのコンタクトレス光電気化学（CL-PEC）エッチングにおける溶液pHの影響

〇大澤 由斗¹、赤澤 正道¹、佐藤 威友¹ (1.北大量集センター)

キーワード：

窒化ガリウム,コンタクトレス光電気化学（CL-PEC）エッチング