[21a-P06-1~17] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[21a-P06-3] コンタクトレスPECエッチングを用いたAlGaN/GaN HFETの素子間分離

〇沖 勇吾¹、富樫 拓也¹、越智 亮太¹、佐藤 威友¹ (1.北大量集センター)

キーワード：

窒化ガリウム,光電気化学エッチング