[21a-P06-1~17] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[21a-P06-9] 光電子ホログラフィによるPMA処理後のAl₂O₃/GaN界面評価

〇夏井 葉月¹、上沼 睦典^1,2、富田 広人¹、橋本 由介¹、松下 智祐¹、藤井 茉美³、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大、2.産総研、3.近畿大)

キーワード：

パワーデバイス,窒化ガリウム