講演情報
[21p-A201-2]先端ロジックデバイス技術
〇山下 典洪1 (1.アイ・ビー・エムリサーチ)
キーワード：
先端ロジックデバイス技術,フィンFET,ナノシートFET
FinFETの量産が発表された以降、先端ロジックデバイス技術は驚くべき進化を遂げ続けており、つい最近3nm FinFETの量産技術が相次いで発表された。しかしながら、FinFETもやがてスケーリングの限界にぶつかり、新たなデバイスアーキテクチャが必要になることは以前から予測されていた。NanosheeデバイスtはFinFETのこういったプロセス限界を改善し、そのデバイスアーキテクチャ的優位性とそれらを実現するためのプロセスインテグレーション技術などを紹介する。