セッション詳細

[21p-A201-1~8]日本が挑む最先端ロジックへの再挑戦

2023年9月21日(木) 13:30 〜 16:55
A201 (熊本城ホール)
井田 次郎(金沢工大)、 遠藤 和彦(東北大)、 福島 誉史(東北大)、 松永 範昭(アプライドマテリアルズジャパン)
シンポジウムスポンサー

シンポジウム終了後にシンポジウムスポンサーによる10分間のショートセミナーを開催いたします。ぜひご参加ください。

[21p-A201-1]オープニング

〇遠藤 和彦1,2 (1.東北大学、2.シリコンテクノロジー分科会 前幹事長)

[21p-A201-2]先端ロジックデバイス技術

〇山下 典洪1 (1.アイ・ビー・エムリサーチ)

[21p-A201-4]先端世代のロジック技術の展望とそのソリューション

〇山本 知成1 (1.東京エレクトロン)

[21p-A201-5]先端ロジックデバイスにおいて銅の次に来る新しい配線材料とは?

〇小池 淳一1、久家 俊洋1、Chen Linghan1 (1.東北大工)

[21p-A201-6]チップレット時代における半導体パッケージ革命

〇折井 靖光1 (1.Rapidus株式会社)

[21p-A201-8]クロージング

〇井田 次郎1,2 (1.金沢工大、2.シリコンテクノロジー分科会 幹事長)