講演情報
[21p-A201-3]ロジック半導体技術ロードマップと差異化技術：
～半導体研究開発オープンプラットフォームとその戦略的位置づけ～
〇林 喜宏1 (1.産総研)
キーワード：
半導体,シリコンナノシート,先端半導体製造技術コンソーシアム
ロジック半導体産業界では、将来にわたる基盤技術のロードマップが“概ね”共有されている。差異化技術は、この基盤技術を基にしたデジタルアシスト技術の上に構築されることが多い。今回、NEDOの「ポスト５G情報通信システム基盤強化研究開発事業」で、先端3次元構造ロジック半導体デバイスの製造・プロセス技術の研究開発とそのパイロットライン整備し、共用のための「先端半導体製造技術コンソーシアム」を設立した。