講演情報
[21p-A302-4]真空プラズマによる氷を用いた還元処理
〇田口 貢士1、山村 明弘1、植野 伸哉1、北川 貴之1、山原 基裕1、登尾 一幸1 (1.株式会社魁半導体)
キーワード：
プラズマ,還元,氷
当社独自技術であるDH-R技術に氷を用いた還元処理を提案する。銅板を酸素プラズマ処理したサンプルに対して、還元剤を氷、プラズマ照射時間を1分間とし、電力250～1000Wの範囲における還元状況を観察した。その結果、処理電力を増加するにつれて酸化銅（Ⅱ）の黒色が還元処理により薄くなり、電力依存性も確認された。
処理効果の時間依存性や、電気伝導性等の物性面からも還元効果の詳細を報告する。
処理効果の時間依存性や、電気伝導性等の物性面からも還元効果の詳細を報告する。