セッション詳細
[21p-A302-1]コイル状陽極を用いた直流真空アーク蒸着によるAlCrN膜の作製
〇鬼頭 純平1、坂東 隆宏1、針谷 達1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー(株))
[21p-A302-5]大気圧非平衡RFプラズマジェット照射が金属-有機材料異材直接接合に与える影響
〇竹中 弘祐1、中本 壮太郞1、小鑓 亮輔1、都甲 将1、内田 儀一郎2、節原 裕一1 (1.阪大接合研、2.名城大理工)
[21p-A302-7]プラズマイオンビーム照射によるドライ原子層プロセスの模擬的検討
〇三輪 和弘2、高田 昇治2、堀 勝1,2、石川 健治1,2 (1.名大院工、2.名大低温プラズマ研)