セッション詳細

[21p-A302-1~9]8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

2023年9月21日(木) 13:00 〜 15:15
A302 (熊本城ホール)
関根 誠(名大)

[21p-A302-1]コイル状陽極を用いた直流真空アーク蒸着によるAlCrN膜の作製

〇鬼頭 純平1、坂東 隆宏1、針谷 達1、滝川 浩史1、杉田 博昭2、服部 貴大2、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジー(株))

[21p-A302-2]RF液中プラズマによるCNT担持金ナノ粒子の合成

〇藤牧 諒1 (1.埼工大工)

[21p-A302-3]PTFEをターゲットとしたスパッタ膜の物性に対する成膜条件の依存性

〇田口 貢士1、富川 弥奈1、山原 基裕1、登尾 一幸1 (1.株式会社魁半導体)

[21p-A302-4]真空プラズマによる氷を用いた還元処理

〇田口 貢士1、山村 明弘1、植野 伸哉1、北川 貴之1、山原 基裕1、登尾 一幸1 (1.株式会社魁半導体)

[21p-A302-5]大気圧非平衡RFプラズマジェット照射が金属-有機材料異材直接接合に与える影響

〇竹中 弘祐1、中本 壮太郞1、小鑓 亮輔1、都甲 将1、内田 儀一郎2、節原 裕一1 (1.阪大接合研、2.名城大理工)

[21p-A302-6]原子層エッチングにおけるプラズマ誘起欠陥へのラジカル吸着挙動

オソニオ アイラ ペラロ1、〇堤 隆嘉1、石川 健治1、堀 勝1 (1.名大)

[21p-A302-7]プラズマイオンビーム照射によるドライ原子層プロセスの模擬的検討

〇三輪 和弘2、高田 昇治2、堀 勝1,2、石川 健治1,2 (1.名大院工、2.名大低温プラズマ研)

[21p-A302-8]プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ~酸素プラズマがSiO2/Si界面に及ぼす影響~

〇布村 正太1、堤 隆嘉2、堀 勝2 (1.産総研、2.名大)

[21p-A302-9]プラズマダメージを受けたシリコン窒化膜機械特性に対するマイクロ波照射効果

〇郷矢 崇浩1、占部 継一郎1、江利口 浩二1 (1.京大院工)