[21p-A302-1~9] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

14:00 〜 14:15

[21p-A302-5] 大気圧非平衡RFプラズマジェット照射が金属－有機材料異材直接接合に与える影響

〇竹中 弘祐¹、中本 壮太郞¹、小鑓 亮輔¹、都甲 将¹、内田 儀一郎²、節原 裕一¹ (1.阪大接合研、2.名城大理工)

キーワード：

異材接合,大気圧非平衡RFプラズマジェット